ウェーハキャリアボックスからエッチング・洗浄装置へウェーハを自動搬送する装置です。本装置は、お客様の様々なニーズに応じてカスタマイズが可能で、お客様の主要装置との完璧な接続を実現する。

1. 速度： 5500&11000 枚/時間; 装置は顧客の必要性に従ってカスタマイズすることができる。
2. 非常に低い破損：≤0.2パーセント。
3. 様々な組み合わせ：単独でエッチングマシンと一致させることができ、また、他のプロセス装置と一緒に使用することができる。